长春厚孚技术有限公司
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| 产品系列 | 适用场景 | 气体类型 | 阀组配置 | 接口规格 |
|---|---|---|---|---|
| HTP-100 系列 | 8英寸/12英寸 制程设备端 | 标准工艺气体 (惰性/非腐蚀性) | 膜片阀 / 单向阀 (标准配置) | 1/4" ~ 1/2" VCR / SWG |
| HTP-200 系列 | 先进制程 (12英寸) / 核心机台 | 腐蚀性 / 可燃性 / 高纯特殊气体 | 高纯膜片阀 / 气动阀组 (高耐腐蚀配置) | 1/4" ~ 1/2" VCR (EP级) |
| HTP-VMB 系列 | 厂务端阀箱 / 气体分配 | 大宗特气 / 工艺气体分支 | 多路集成阀组 / 手动隔膜阀 | 1/2" ~ 1" VCR / 法兰 |
| 参数类别 | HTP-100 系列 (标准级) | HTP-200 系列 (高端级) | HTP-VMB 系列 (分配级) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 外漏测试 | 行业领先水平 (远低于 SEMI 标准要求) | 极限控制水平 (超越主流半导体设备商要求) | 行业领先水平 | 采用氦气质谱检漏，确保制程安全与环境安全 |
| 内漏测试 | 主流控制水平 | 精密控制水平 | 主流控制水平 | 确保多路气体切换时的零交叉污染 |
| 保压测试 | 50 psi / 12h 压降 优于行业标准 | 50~100 psi / 24h 压降 远优于行业标准 | 50 psi / 12h 压降 优于行业标准 | 验证系统结构完整性与长周期稳定性 |
| 颗粒控制 | 高洁净度 (符合 SEMI 洁净标准) | 顶级洁净度 (>0.1μm 颗粒物近零检出) | 高洁净度 | 确保先进制程良率，减少微污染 |
| 水氧含量 | 可选配 (满足常规工艺需求) | 标配 ≤10 ppb (H₂O / O₂) | 可选配 | 适用于对氧化敏感的工艺气体 (如 HCl, Cl₂) |
| 氦气爆漏测试 | 可选配 | 标配 (动态响应验证) | 可选配 | 模拟压力冲击下的结构可靠性 |
| 认证项目 | 符合情况 | 适用系列 | 说明 |
|---|---|---|---|
| SEMI S2 | 设计符合 (认证提升中) | 全系列 | 涵盖设备安全、人体工程学、电气安全及环保要求。认证流程与权威机构合作推进中，可配合客户完成现场安全验收。 |
| SEMI S6 | 设计符合 (认证提升中) | 全系列 | 针对气体设备通风与排放的专项安全规范，确保危险气体泄漏时的有效排散。 |
| FM / 防爆认证 | 依客户需求定制 | HFT-200 / VMB | 针对可燃性气体应用，可选配防爆结构与认证组件。 |
为便于快速报价与设计，请客户提供以下信息：
| 选型维度 | 选项 / 说明 |
|---|---|
| 1. 应用场景 | □ 设备端 (Tool Side) □ 厂务端 (Facility Side) □ 阀箱 (VMB) |
| 2. 气体类型 | □ 惰性气体 □ 可燃性气体 □ 腐蚀性气体 □ 高纯特殊气体 |
| 3. 接口规格 | □ 1/4" VCR □ 1/2" VCR □ 其他：__________ |
| 4. 阀组配置 | □ 手动隔膜阀 □ 气动阀 □ 比例阀 □ 其他：__________ |
| 5. 洁净等级要求 | □ 标准洁净 □ 超高洁净 (EP / 10 ppb 水氧要求) |
| 6. 认证需求 | □ SEMI S2/S6 □ FM 认证 □ 无特殊认证 |
| 能力项 | 优势说明 |
|---|---|
| 设计与集成 | 具备从 8英寸成熟制程到 12英寸先进制程的全场景定制设计能力，支持复杂的阀组拓扑结构优化。 |
| 洁净工艺 | 万级/10级洁净室组装环境，结合自动化轨道焊接与高精度表面处理工艺，确保产品内表面 Ra ≤ 0.2μm。 |
| 检测能力 | 配备高精度氦质谱检漏仪，检漏下限覆盖行业最高需求等级；具备完整的颗粒物在线检测与保压测试记录系统。 |
| 交付与服务 | 模块化设计缩短现场安装调试周期；提供快速备件响应与 7×24h 技术支持。 |
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